光阻塗佈機(Spin Coater)?

主要是用來作光阻的塗佈。旋轉塗佈法(Spin Coating)是最廣為用來上光阻的方法，通常的做法是將定量的阻劑塗佈在晶圓中心，在藉由不同階段的轉速和時間控制，使阻劑均勻塗佈在晶圓表面上。