曝光機(Aligner)?

主要是用來靠著光學成像原理，光線經過光罩成像到晶片表面上，晶片表面必須有如照相底片般之物質存在，屬於可感光之膠質化合物(光阻)，經與光線作用和化學作用處理後，即可將光罩上的圖形一五一十的轉換到晶片上。