何謂真空濺鍍？

1.在真空環境通入適量之惰性氣體(氬氣)。

2.將陰極(Cathode)加至數百伏特電壓，氬氣因高電壓而起輝光放電作用，產生了離子化的氣體(氬離子)。游離的氬離子加速往陰極飛去，轟擊金屬靶材。氬離子撞擊靶材表面的原子，以動量轉移方式，將原子擊出而濺射沉積到被鍍物上。