HPGP-101-C 高壓氣體粒子計數器

高科技製造過程通常需要高純度氣體，而HPGP-101-C高壓氣體量測系統可為具有壓力的管路中之製程氣體提供可靠的線上污染監測。HPGP-101-C高壓氣體粒子計數器可用於氧氣、氫氣和大多數無害氣體，它亦被用於許多反應性氣體監測的應用。其能加速確認製程氣體分配系統的品質，並在氣體影響產量之前檢測氣體中的顆粒。HPGP與ParticleDataSystem、乙太網(PDS-E)配置，收集和報告粒子計數器的數據。

1.靈敏度範圍:0.1-5.0µm

2.安全保護殼

3.適用於氧氣與氫氣

4.0.1μm靈敏度和0.1SCFM流速

5.8個粒子通道

6.容許40-150psig的管路壓力

7.被動式鐳射源

8.並行處理陣列檢測器系統

9.驗證氣體品質

10.檢測製程異常

11.量化系統變化的影響

12.提供精確的粒徑

13.使用FacilityNet軟體來進行全面的數據存儲、管理、報告和警報

14.被動式鐳射源設計只需極少的維護

15.惰性氣體吹掃確保安全

16.樣品氣體洩漏將停止向電子設備供電

17.應用

   a.配氣系統的資格確認

   b.製成氣體監測

   c.反應性氣體監測